维尔克斯光电专业代理德国Sill Optics公司场镜,场镜也称为F-theta镜(f-θ镜,f-θ场镜)。德国SILL OPTICS GmbH公司是一家生产各类激光光学元件的企业,其所产的镜片广泛应用于激光技术、 图像处理、 测量、 照明、 光子学和医学技术等领域。
至1894年成立以来,SILL OPTICS一直奉行德国原装制造的原则,实行严格的工艺和供应链管控。SILL OPTICS根据光学研究的最新成果不断推出创新型的镜片产品。最近,SILL OPTICS的最新成果“远心镜头可调镜头焦点”被授予“2017年度inVISION顶级创新”荣誉。SILL OPTICS非常重视对于研发的投入,已保持其在科研级和高端工业级镜片领域的全球领先地位,在最近的10年间投资超过一千万欧元用于开发最新的产品科技和测试技术。
工作在物镜焦面附近的透镜称为场镜。人们也称之为:F-Theta场镜,f-θ场镜,激光扫描聚焦镜,平场聚焦镜。它是在不改变光学系统光学特性的前提下,改变成像光束位置。场镜经常被应用1064nm、10.6微米、532nm和355nm的光学系统中。F-theta场镜普遍用便激光雕刻机,激光切割机,也可以用于科学,实验和激光测量仪器中。
激光场镜一般和扩束镜(beam expander)和振镜(galvanometer)配合使用。振镜就是两个电流表+指针绑X\Y镜片,振镜光斑数(10光斑 12光斑 20光斑等)就是说这个振镜片的面积能够反射多大的光束。振镜镜片越小,所能反射的光束就越小;振镜镜片越大,所能反射的光束就越大,但同时振镜镜片的重量就越大。 场镜简单说就是一个聚焦镜,说得复杂点就是在其焦距位置一个规定的平面内的每个点都是聚焦点的透镜,场镜有一个参数,叫入射光瞳(Full Beam Diameter) ,也叫入瞳。对于入瞳,我们要求场镜的入瞳≥振镜的光斑。
德国Sill optics公司的振镜具有非常丰富的产品线,提供数十种标准产品,同时还可以为用户定制各种参数。帮助用户实现低畸变、大范围、高精度的扫描应用。
产品线组合包括:标准f-theta扫描透镜(场镜)以及各种远心f-theta扫描透镜。这些透镜的波长范围为:266nm-1980nm。
Sill optics 标准ƒ-THETA透镜(场镜)
除了标准的场镜,Sill optics还提供多种特殊的场镜方案以满足不同用户的需求,例如熔融石英场镜、超短脉冲场镜和消色差场镜,满足超快激光系统、多波长或宽波段等激光加工的应用。
对于标准的激光厂家,Sill optics公司按照波长对型号进行区分。
1064nm(材质:光学玻璃)
型号 | 焦距 | 扫描范围 | 最大入射光直径[mm] | 长度 | 最大外径 | 螺纹 | 工作距离 |
[mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT0063/126 | 63 | 36x36 | 8 | 35.6 | 59.2 | M39x1 /M55x1 | 74.5 |
S4LFT0101/126 | 100.1 | 55x55 | 10 | 40 | 90 | M85x1 | 112 |
S4LFT0162/126 | 160 | 100x100 | 8 | 25.2 | 59.2 | M39x1/ M55x1 | 179.9 |
S4LFT0163/126 | 162.4 | 107x107 | 12 | 43.3 | 89 | M85x1 | 181.1 |
S4LFT3163/126 | 163 | 120x120 | 15 | 52 | 103 | M85x1 | 186.6 |
S4LFT2163/126 | 163 | 106x106 | 20 | 66 | 128 | M85x1 | 192.7 |
S4LFT7163 | 163 | 95 x 95 | 10 | 44 | 89 | M85x1 | 197.2 |
S4LFT0191/126 | 191.9 | 125x125 | 20 | 57.8 | 128 | 3.875“x32 | 220.9 |
S4LFT0202/126* | 201.6 | 90x90 | 30 | 84.1 | 132 | M85x1 | 243 |
S4LFT3254/126 | 253.9 | 115x115 | 30 | 75.5 | 130 | M85x1 | 297.2 |
S4LFT4255/126 | 254 | 168x168 | 20 | 70.1 | 130 | M85x1 | 292.7 |
S4LFT1254/126 | 254.4 | 160x160 | 12 | 55.3 | 109 | M85x1 | 306.3 |
S4LFT0300/126 | 300 | 175x175 | 20 | 78 | 128 | M85x1 | 353.1 |
S4LFT0350/126 | 346.3 | 212x212 | 12 | 52.4 | 95 | M85x1 | 412.2 |
S4LFT0351/126 | 354.1 | 160x160 | 30 | 48.5 | 128 | 3.875“x32 | 396.2 |
S4LFT0411/126 | 409.9 | 210x210 | 20 | 56.8 | 105 | M85x1 | 472.8 |
S4LFT0420/126 | 420 | 242x242 | 30 | 52 | 136 | M132x1 | 480.1 |
S4LFT0508/126 | 566.3 | 325x325 | 20 | 56.9 | 127 | M85x1 | 647.6 |
S4LFT0635/126 | 653.8 | 370x370 | 25 | 48.5 | 133 | M110x1 | 729 |
S4LFT0825/126 | 815 | 560x560 | 24 | 58 | 130 | M102x1 | 888.5 |
*最大远心误差为6.8°
*最大远心误差为5.4°
808nm-980nm(材质:光学玻璃)
型号 | 焦距 | 扫描范围 | 最大入射光斑直径[mm] | 长度 | 最大外径 | 螺纹 | 工作距离 | ||
[mm x mm] | [mm] | [mm] | [mm] | ||||||
| 808 nm | 980 nm |
|
|
|
|
| 808nm | 980nm |
| 97.5 | 99.4 | 53x53 | 10 | 40 | 90 | M85x1 | 108.9 | 111.2 |
S4LFT0163/094 | 158.3 | 161.3 | 108x108 | 12 | 43.3 | 89 | M85x1 | 176.4 | 179.9 |
S4LFT2163/094 | 158.9 | 162 | 103x103 | 20 | 66 | 128 | M85x1 | 187.3 | 191.3 |
S4LFT0202/094* | 196.8 | 200.4 | 90x90 | 30 | 83.1 | 132 | M85x1 | 237.4 | 241.6 |
S4LFT3254/094 | 248.7 | 253.1 | 115x115 | 30 | 75.5 | 130 | M85x1 | 290 | 295.6 |
S4LFT0300/094 | 294.2 | 298.5 | 175x175 | 20 | 78 | 128 | M85x1 | 346.2 | 351.3 |
S4LFT0400/094 | 397.9 | 400.1 | 213x213 | 20 | 53 | 118 | M85x1 | 486.9 | 489.2 |
S4LFT0420/094 | 410.9 | 419.5 | 250x250 | 30 | 52 | 136 | M132x1 | 468.6 | 478.6 |
S4LFT0555/094 | 556.2 | 565.2 | 290x290 | 25 | 65.4 | 130 | M85x1 | 628.9 | 638.8 |
S4LFT0635/094 | 636.5 | 649.5 | 415x415 | 30 | 48.5 | 133 | M110x1 | 709.5 | 724.2 |
S4LFT0825/094 | 803.5 | 812.1 | 450x450 | 30 | 58 | 130 | M102x1 | 876 | 885.1 |
*最大远心误差为6.8°
532nm(材质:光学玻璃)
型号 | 焦距 | 扫描范围 | 最大入射光直径[mm] | 长度 | 最大外径 | 螺纹 | 工作距离 |
[mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT0063/121* | 62.9 | 30x30 | 7 | 35.6 | 59.2 | M39/M55 | 76 |
S4LFT0101/121 | 89.7 | 58x58 | 6 | 40 | 90 | M85x1 | 97 |
S4LFT0163/121 | 148 | 77x77 | 7 | 43.3 | 89 | M85x1 | 162.7 |
S4LFT2163/121 | 148.3 | 114x114 | 10 | 66 | 128 | M85x1 | 173.4 |
S4LFT0162/121 | 162.1 | 100x100 | 7 | 25.2 | 59.2 | M39/M55 | 183.4 |
S4LFT3164/121 | 162.8 | 120x120 | 10 | 46.6 | 106 | M85x1 | 186.5 |
S4LFT1254/121 | 233.5 | 148x148 | 10 | 55.3 | 109 | M85x1 | 282 |
S4LFT0300/121 | 278.7 | 200x200 | 14 | 78 | 128 | M85x1 | 326.4 |
S4LFT0415/121 | 372.5 | 219x219 | 14 | 56.8 | 105 | M85x1 | 429.8 |
S4LFT0508/121 | 520.5 | 330x330 | 16 | 56.9 | 127 | M85x1 | 594.7 |
S4LFT0825/121 | 768.6 | 552x552 | 16 | 58 | 130 | M102x1 | 839.2 |
*最大远心误差为4.5°
405nm(材质:光学玻璃)
型号 | 焦距 | 扫描范围 | 最大入射光直径[mm] | 长度 | 最大外径 | 螺纹 | 工作距离 |
[mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT0375/173 | 375.3 | 300x300 | 10 | 48 | 116 | M92x | 447.5 |
2、标准熔融石英ƒ-THETA透镜(场镜)
相对于普通的光学玻璃场镜,熔融石英场镜可以适应更高的平均功率,这样就能够用于脉短冲激光和超短脉冲激光加工,减小热效应改变的光束形状和工作距离,同时具有较低的热效应。Sill Optics推出了一系列熔融石英的场镜。
1850 nm - 1980 nm(材质:熔融石英)型号 | 焦距 | 扫描范围 | 最大入射光斑[mm] | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离 |
[mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT0260/159 | 260.0@1941nm | 160x160 | 20 | 182.6 | 155 | M85x1 | 120.1 |
S4LFT1330/159 | 344.8@1908nm | 215x215 | 20 | 179.4 | 163 | M85x1 | 203 |
1550nm(材质:熔融石英)
型号 | 焦距 | 扫描范围 | 最大入射光斑[mm] | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离 |
[mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT3100/008 | 115.8 | 82x82 | 6 | 49 | 89 | M85x1 | 160.5 |
S4LFT0260/008 | 264.1 | 160x160 | 15 | 182.6 | 155 | M85x1 | 124 |
S4LFT2250/008 | 264.7 | 170x170 | 10 | 61.1 | 105 | M85x1 | 328.1 |
S4LFT1330/008 | 342.2 | 215x215 | 20 | 177.4 | 163 | M85x1 | 202.6 |
1064 nm(材质:熔融石英)
1064nm | 焦距 | 扫描范围[mm] | 最大入射光斑[mm] | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离 |
标准型 | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT2175/126* | 163.4 | 94x94 | 20 | 110.2 | 150 | M85x1 | 205.5 |
S4LFT3260/126 | 277.1 | 142x142 | 15 | 61 | 105 | M85x1 | 346.1 |
S4LFT1330/126 | 340 | 215x215 | 20 | 174.6 | 163 | M85x1 | 203.4 |
S4LFT1420/126 | 420 | 280x280 | 14 | 67.7 | 122 | M85x1 | 499.2 |
S4LFT1500/126 | 500 | 340x340 | 20 | 68 | 148 | M85x1 | 571.3 |
532nm(材质:熔融石英)
532nm | 焦距 | 扫描范围[mm] | 最大入射光斑[mm] | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离 |
标准型 | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT3100/121 | 112.8 | 74x74 | 5 | 49 | 89 | M85x1 | 151.5 |
S4LFT3260/121 | 259.4 | 162x162 | 10 | 61 | 105 | M85x1 | 325.5 |
S4LFT1330/121 | 347.9 | 212x212 | 14 | 108.4 | 122 | M85x1 | 279 |
405nm(材质:熔融石英)
型号 | 焦距 | 扫描范围[mm] | 最大入射光斑[mm] | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离 |
[mm] | [mm] | [mm] | [mm] | ||||
S4LFT3160/173 | 175.9 | 110x110 | 6 | 36.7 | 89 | M85x1 | 220.7 |
S4LFT3260/173 | 263.9 | 164x164 | 10 | 62.3 | 105 | M85x1 | 329.8 |
S4LFT0580/173 | 594.1 | 326x326 | 10 | 38 | 89 | M85x1 | 686.1 |
355nm(材质:熔融石英)
型号 | 焦距 | 扫描范围 | 最大入射光斑[mm] | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离 |
[mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT3100/075 | 108.3 | 76x76 | 6 | 49 | 89 | M85x1 | 145.9 |
S4LFT3160/075 | 173.9 | 109x109 | 6 | 36.7 | 89 | M85x1 | 218.4 |
S4LFT3260/075 | 250.3 | 155x155 | 10 | 61 | 105 | M85x1 | 309.6 |
S4LFT1330/075 | 328.2 | 212x212 | 14 | 108.4 | 122 | M85x1 | 260.2 |
S4LFT0580/075 | 580.8 | 320x320 | 10 | 38 | 89 | M85x1 | 671.7 |
S4LFT0815/075 | 831 | 440x440 | 14 | 62.5 | 90 | M85x1 | 983.2 |
S4LFT0920/075 | 919.2 | 470x470 | 14 | 40 | 89 | M85x1 | 1032 |
266nm(材质:熔融石英)
型号 | 焦距 | 扫描范围 | 最大入射光斑[mm] | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离 |
[mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT3100/199 | 101.5 | 73x73 | 5 | 49 | 89 | M85x1 | 136.5 |
S4LFT3160/199 | 162.3 | 105x105 | 5 | 36.7 | 89 | M85x1 | 204.5 |
S4LFT0256/199 | 245.4 | 148x148 | 4 | 47 | 90 | M85x1 | 249.3 |
飞秒脉冲容易在材料中产生色散,脉冲的频谱宽度随着短脉冲持续时间和较长波长迅速增加,这将导致在聚焦光束的轴向和横向位置变化为不同的颜色。为了克服这个误差,Sill Optics公司超短脉冲专用的ƒ-θ镜头,使飞秒激光器能够消除色散误差,在整个加工扫描区域扫描。
1030nm-1090nm | 焦距 | 扫描范围[mm] | 最大入射光斑[mm] | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离 |
低吸收 | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT2175/328* | 163.4 | 94x94 | 20 | 110.2 | 150 | M85x1 | 205.5 |
S4LFT3260/328 | 277.1 | 142x142 | 15 | 61 | 105 | M85x1 | 346.1 |
S4LFT1330/328 | 340 | 215x215 | 20 | 174.6 | 163 | M85x1 | 203.4 |
S4LFT1420/328 | 420 | 280x280 | 14 | 67.7 | 122 | M85x1 | 499.2 |
S4LFT1500/328 | 500 | 340x340 | 20 | 68 | 148 | M85x1 | 571.3 |
S4LFT2500/328 | 217.3 | 280x280 | 30 | 127 | 198 | M120x1 | 620.1 |
515nm - 545 nm(材质:熔融石英)
515nm-545nm | 焦距 | 扫描范围[mm] | 最大入射光斑[mm] | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离 |
低吸收 | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | |||
S4LFT3100/292 | 112.8 | 74x74 | 5 | 49 | 89 | M85x1 | 151.5 |
S4LFT3260/292 | 259.4 | 162x162 | 10 | 61 | 105 | M85x1 | 325.5 |
S4LFT1330/292 | 347.9 | 212x212 | 14 | 108.4 | 122 | M85x1 | 279 |
4、消色差ƒ-THETA扫描透镜
对于在线检测系统,Sill Optics提供消色差ƒ-θ透镜,其能够适应多个特定的检查波长或一定范围的波长,以方便用户的使用。比较常用的型号是1064 nm +532 nm场镜,450 nm到650 nm场镜和355 nm和1064 nm场镜。
532nm+ 1064nm(光学玻璃)
型号 | 焦距[mm] | 扫描范围 | 最大入射光斑 | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离[mm] | ||
| 450nm | 650nm | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | 450nm | 650nm | |
S4LFT1163/081 | 163.2 | 163.2 | 102 x 102 | 12 | 82.7 | 106 | M85x1 | 159.5 | 159.5 |
S4LFT8254/081 | 254 | 253.9 | 180 x 180 | 15 | 122 | 128 | M85x1 | 211.8 | 211.8 |
808nm-980nm(光学玻璃)
型号 | 焦距[mm] | 扫描范围 | 最大入射光斑 | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离[mm] | ||
| 450nm | 650nm | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] |
| 450nm | 650nm |
S4LFT0061/065 | 60.3 | 60.5 | 22 x 22 | 5 | 48.5 | 59 | TK 52 | 75.5 | 75.4 |
450nm-650nm(光学玻璃)
型号 | 焦距[mm] | 扫描范围 | 最大入射光斑[mm] | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离[mm] | ||
450nm | 650nm | [mm] | [mm] | [mm] | 450nm | 650nm | |||
S4LFT0061/065 | 60.3 | 60.5 | 22 x 22 | 5 | 48.5 | 59 | TK 52 | 75.5 | 75.4 |
405nm-650nm(光学玻璃)
, , , ,
型号 | 焦距[mm] | 扫描范围 | 最大入射光斑 | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离[mm] | ||
405nm | 650nm | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | 405nm | 650nm | ||
S4LFT4375 | 80.2 | 80.7 | 14 x 14 | 6 | 87.9 | 59 | TK 52 | 24.2 | 24.2 |
355nm+1064nm(光学玻璃)
型号 | 焦距[mm] | 扫描范围 | 最大入射光斑 | 长度 | 外径 | 螺纹 | 工作距离[mm] | ||
| 405nm | 650nm | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | 405nm | 650nm | |
S4LFT7400 | 398.6 | 398.6 | 70 x 70 | 15 | 291.7 | 132 | M85x1 | 160 | 160 |