S-4800场发射SEM系统： SEM/EDX元素分析成分分析
1. 分辨率：二次电子（SE）成像：高真空模式：1.0 nm (15KV)、1.4~2.0 nm (1KV)2. 放大倍率：低倍模式20 ～2,000倍；高倍模式100 ～800,800倍

SEM/EDX元素分析成分分析
3. 电子枪：冷阴极场发射电子源，束流1pA–2nA；加速电压：0.5～30 kV；3级电磁透射会聚系统
4. 样品室可容纳样品左右直径200 mm，同心样品台，四轴自动，可安装EDS、冷却台附件
5. 移动最大范围：X = 110 mm /Y = 110 mm /Z =1.5~40.0mm /R=360°；倾斜T：范围不小于-5°～70°(手动)
6. 探测器：二次电子检测器、固体背散射电子检测器；样品室 IR-CCD 相机

SEM/EDX元素分析成分分析

7. 图像扫描：不低于5120×3840像素；图像显示1280×960像素