纳米结构金属陶瓷涂层。该产品采用超音速火焰和等离子热喷涂设备，对需要耐腐蚀、耐高温、耐磨擦、抗冲击、防辐射的各种机械设备的零部件进行纳米结构金属陶瓷涂层处理。这项纳米陶瓷合金化技术已远远超过美国技术标准1687A的要求，广泛应用在美国的军舰、（核）潜艇、扫雷艇和航空母舰设备上近百个零部件。这种热喷涂纳米结构陶瓷涂层在世界上得到产业化应用，在美国称为一项革命性的新技术，获得“世界研究开发百项奖”和美国国防部“军民两用先进技术奖”。

应用范围：主要用在国防技术、通用制造和设备修复两大方面，包括阀杆（门）、活塞环、汽缸体、轴承、齿轮、轴柄、凸轮、轧辊、叶片、密封件等零部件。

服务方式：物件厂内喷涂施工或现场施工（修复）喷涂。

产品价格：面议（因金属基材和强度各异）。

SNH型两用式电弧法和SNB型连动式电爆法金属纳米粉制取设备。该设备为生产各种金属、合金、化合物纳米粉的专用设备。产量：3kg—6.kg/日。鉴定结论：电弧法设备达到国际先进水平，电爆法设备达到国际先进水平，属于国内首创。

微米/纳米加工技术国家重点实验室是国内最开放的微电子工艺实验环境，拥有900平方米超净厂房，150余台套工艺实验和检测设备，价值超过8000万元，是北京大学设备价值的科研实验室之一。

实验室能够进行CMOS、Bipolar和硅MEMS器件的新工艺开发实验和新结构验证。特别是在MEMS工艺技术研究方面，实验室具有一批世界一流的工艺设备和工程师，是国内配套最全的硅MEMES研究环境。

实验室能够为来自国内外的科研项目提供从单项工艺加工到面向器件的工艺集成，从一般技术咨询到微电子工艺实验室建设方案的技术服务。同时实验室还与器件研制单位开展广泛的技术合作。目前，实验室已对国内外数十个单位的数百个器件进行过合作研究和技术服务。

Archer 500LCM overlay 测量设备采用成像测量技术基于激光散射测量技术，提供广泛的测量选项，并支持各式各样的 overlay target 设计，例如 in-die、small pitch 或 multi-layer target，这种灵活性能够经济产生精准的 overlay error 资料，可用于进行曝光机的校正或产线异常的辨识，协助工程师判断何时对晶圆进行重新加工或者调整制程，以满足严格的 patterning 要求。多个 Archer 500 LCM 设备已在全球的代工厂、逻辑电路制造商和内存制造商中使用，可提供独一的 overylay 性能，以用于先进研发和大量生产上。