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影响石英坩埚尺寸大小的因素很简单,主要受晶体的直径和长度影响,另外,还要考虑拉晶工艺对埚、晶直径比的要求。下面来看看详细解说吧!
因为晶体与熔液直接接触,熔硅与石英坩埚发生反应生产氧化硅后,会向熔体内部扩散,同时也向熔体表面挥发。此时,选取较大的涡、晶直径比,有利于氧气挥发。
因此,当拉制直径为80mrn、长度为7.000mm硅单晶时,增涡的直径为中224mm,高度为190mm。石英坩埚抗弯强度为700一1100。
同时,为了使单晶生长到达底部,仍能保持其原有的结晶直径比,应尽量减少坩埚中剩料,以提高单晶的成品率和回收率,为此确定使用平底柑塌。
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