实验室工程
净化原理：气流→初效空气处理→空调→中效空气处理→风机送风→净化管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃(细菌) → 回风夹道→新风、初效空气处理。重复以上过程，即可达到净化目的。
一、实验室工程的结构材料：
1、洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门，窗采用铝合金玻璃固定窗。
2、地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。
3、净化通风管道选用镀锌薄钢板制作，并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
二、实验室工程的技术参数：
换气次数：十万级10-15次/小时;万级15-25次/小时;千级50-52次/小时;百级操作台断面风速0.25-0.35m/s。
压差：主车间对相邻房间≥5Pa。
温度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;
相对湿度：45-65%(RH);噪声≤65dB(A);新风补充量：总送风量的20%-30%;
照度：≥300Lux。
无尘室是指将务必室内空间设计范围内汽体中的细颗粒物、伤害汽体、病原菌等空气污染源消除，并将室内温度、洁净室
等级、屋子里压力、气流速率气流遍及、噪音振动及照明设备、尖端放电控制在某一规定范围内，而所给予十分方案设计的房间。亦也是不管外在之汽体规范如何变化，其屋子里均能俱有维持原先所设定要求之洁净室
等级、温湿度及压力等特点之特性。净化车间最重要之作用在于控制货品(如硅芯片等)所碰触之气体的洁净室
等级日及温湿度，使货品能在1个优质之地理环境室内空间设计中生产加工、生产加工，此室内空间设计大家称之为净化车间。按照国际惯例，清洁清理级别重要是根据每立方汽体中物块直径超出划分标准的物块数量来规定。换句话简言之清洁并非100%没有一点灰尘，仅仅控制在1个非常痕量元素的公司上。也许这一标准中符合灰尘标准的细颗粒物客观性于大家广泛的灰尘早就是小的屈指可数，但是对于电子光学构造而言，即使是一点点的灰尘全是导致非常大的负面影响，因而在电子光学构造货品的生产加工上，清洁是必然的要求。每立方将小于0.3μm粒度分布的尘土数量控制在3500个以下，就超出了全球性清洁标准的A级。
芯片级生产加工的清洁标准对于灰尘的要求高过A级，那般的标准化重要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的尘土数量被严格控制在每立方英寸1000个以内，这换句话说业内别称的1K级别。空态:早就建造开展并可以交付的净化车间(机器设备)。它具备所有有关的服务和功效。但是，在机器设备内没有操作过程工作员操作过程的机械设备。静态:各式各样功效健全、设定安装妥当，可以按照设置应用或早已运用的净化车间(机器设备)，但是机器设备内没有操作过程工作员。
