设备概况：
主要功能：本设备主要手动搬运方式，通过对硅片腐蚀、漂洗、等方式进行处理，从而达到一个用户要求的效果。
设备名称：KOH  Etch
设备型号：CSE-SC-NZD254
整机尺寸(参考)：自动设备约2500mm（L）×1800mm(W)×2400mm(H)；
被清洗硅片尺寸： 2--6寸（25片/篮）
设备形式:室内放置型;
操作形式：手动
设备组成：
该设备主要由清洗部分、抽风系统及电控部分组成
设备走向：方案图按 “左进右出”方式，另可按要求设计“右进左出”方式；

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