臭氧脱硝废气处理方案技术原理，臭氧对NO的氧化效率可达84%以上，结合碱吸收法，脱硫率近100%，脱硝效率也在O3/NO摩尔比为0.9时达到86.27%。将臭氧通入烟气中对NO进行氧化，然后采用碱液进行吸收，终将NOx转化为N2，NOx的去除率高达95%，SO2去除率约为100%。
通过实验将O3注入烟气进行脱除SO2、NOx的研究，然后采用碱吸收塔对烟气进行洗涤，结果表明NOX的脱除率与O3的注入量有关，当O3加入量为200ppm时，NOX的脱除效率可达到85%，此工艺对NOX和SO2的脱除率高可分别达到97%和100%。
采用此技术可得到较高的NOX脱除率，典型的脱除范围为70%～90%，甚至可达到95%，并且可在不同的NOX浓度和NO/NO2的比例下保持高效率。也不存在类似SCR中NH3的泄漏问题。该技术应用中SO2和CO的存在不影响NOX的去除，也不影响其他污染物控制技术。
臭氧脱硝采用臭氧的高级氧化技术不仅对NOX 具有良好的脱除效果，而且对烟气中的其他有害污染物，比如重金属gong也有一定的去除能力。
应用YDG-OX臭氧脱硝技术是利用现有烟气脱硫除尘工艺中原有设备作为脱硝反应器，将氧/臭氧混合气注入烟道，将NOX氧化成高价态且易溶于水的N2O3和N2O5，然后通过洗涤形成HNO3。该技术广泛应用于用于石油精炼厂中加热器、锅炉等的废气治理。主要的反应如下：
NO+O3→NO2+O2
2NO2+O3→N2O5+O2
N2O5+H2O→2HNO3
臭氧脱硝主要是利用臭氧的强氧化性，将不可溶的低价态氮氧化物氧化为可溶的高价态氮氧化物，然后在洗涤塔内将氮氧化物吸收，达到脱除的目的。
低温条件下，O3与 NO间的关键反应如下：
NO+O3→NO2+O2 （1）
NO2+O3→NO3+O2 （2）
NO3+NO2→N2O5 （3）
NO+O+M→NO2+M （4）
NO2+O→NO3 （5）
臭氧脱硝过程是利用氧化性极强的臭氧气体将烟气中的 NO 转换为易溶于水的 NOx，产物在后级脱硫塔中被吸收。因此脱硝过程不产生直接的副产物。也不需要新建洗涤吸收塔，只需要新建臭氧发生装置。臭氧脱硝可以达到90%以上的脱硝效率。
