产品名称：LMG2A
产品介绍:


产品特征:


最大行程4m x 4m 
以线性滑轨或空气轴承架构之定位平台良好接地设计防止杂讯干扰 Z向震动可达奈米等級以下最大速度可达5m/s 标准重現精度1um或以下位置回馈系统解析度最低可达50nm




产品应用:


半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备 
PCB设备
水刀设备
钻石切割设备 
AOI检测设备
工具机



组装简单