北京厂家根据客户需求定制全自动真空退火炉
一、真空退火炉简介JFHK系列真空退火炉用于6英寸wafer退火工艺，设备可抽真空，并通氢氮混合气，防止wafer氧化。本设备具有：关键部件进口、自动化程度高、温度均匀、控制稳定等特点。 二、真空退火炉技术指标（全部指标可定制）1、外型形式：单管卧式2、设备外形尺寸：3800（L）*1000（W）*1600（H）3、额定工作温度：800℃ 4、恒温区长度：500mm（单次装载100片6英寸wafer）5、恒温区精度：±1℃6、额定升温速率：15℃/min7、额定降温速率：100℃/min8、热偶：S分度9、温度控制方式：spike+profile10、真空室材质：高纯石英11、极限真空度：1Pa12、加热元件：瑞典康泰尔电阻丝13、气路：三路，一路N2，一路N2/H2混合气，一路N214、取送片方式：自动推拉系统15、工艺运行方式：手、自动两种运行方式16、报警及保护：超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护北京晶伏华控电子设备有限公司可根据客户需求定做各种：退火炉、真空烧结炉、真空气氛炉、真空退火炉、立式真空炉、立式真空退火炉、全自动退火炉、非晶退火炉、快速退火炉、连续式退火炉、非晶带材退火炉等各种实验室、工业用热处理设备，欢迎广大客户来电来函洽谈业务。
