干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:
低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止造成污染,适合用干式真空泵;
用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
中国真空设备制造行业近年来无论是规模、品种还是技术水平都已取得了长足的进步,但整个行业与国外同行业相比,还仍然存在较大差距。
主要表现在:一是企业规模仍然偏小,全国散布着数百家生产企业,其中有很大部分都是在以往国有企业中分散出来的家族式或朋友之间股份合作式小微企业,整体实力偏弱;二是大部分企业研发投入少,没有设立真正的研发部门,基本处于接单—设计—生产的简单模式,导致在产品创新等方面远远落后于国外同行,产品同质化现象严重,高端产品市场基本被国外同行垄断。
离子泵是膜运输蛋白之一。也看作一类特殊的载体蛋白,能驱使特定的离子逆电化学梯度穿过质膜,同时消耗ATP形成的能源,属于主动运输。离子泵本质是受外能驱动的可逆性ATP酶。外能可以是电化学梯度能、光能等。被活化的离子泵水解ATP,与水解产物磷酸根结合后自身发生变构,从而将离子由低浓度转运到高浓度处,这样ATP的化学能转变成离子的电化学梯度能。目前已知的离子泵有多种,每种离子泵只转运专一的离子。细胞内离子泵主要有钠钾泵、钙泵和质子泵。