1、适合产品尺寸：常规2寸、4寸（6寸、8寸、10寸可根据实际外观定做）。
2、适合产品最深厚度：2mm以内。
3、适合产品精度：激光最小线宽和钻孔直径15um±1um。
4、采用高性能400KHz时最高功率100W，1064nm皮秒红外激光器，激光光束质量M²<1.3，高峰值功率、超窄脉宽、高重复频率和高脉冲稳定度，聚焦光斑小， 切口窄，加工速度快，几乎没有热影响区，创造了卓越的加工质量；
5、皮秒激光微加工系统采用高刚性结构设计、减震机床脚杯和天然大理石组成的机床基座，既能消除高速直线电机运动平台启动/停止和加速过程中产生的惯性震动，也可有效防止因气候变化温差引起的床身应力变形；
6、采用高精密二维直线电机平台和全闭环光栅检测控制系统，保证机床的定位和重复精度；
7、配备高精密超高速微加工模式扫描振镜，适合高速精密微孔钻孔和开槽应用；
8、配备高像素CCD 相机，具有图像自动识别、高精度图像定位动能；并可抓银浆丝印的Mark标，也可以抓ITO Mark标,（靶标：圆形 十字 方框 十字加实心圆 影像 ） 可使用两点、四点定位，抓标后记忆功能，大大节约抓拍靶标时间；
9、配备粉尘抽风和集尘系统回收激光加工过程中产生的去除粉尘，使机器光学部件和光学传输系统和生产车间不受污染；
10、配备工业专用控制电脑和盛雄激光自主研发的皮秒激光微加工系统专用控制软件，软件支持DXF DWG格式文件导入图形，全过程电脑软件自动控制，能实现送料机构产品自动送料，CCD自动抓取靶标自动定位，扫描振镜然后自动加工，加工过程中产生的粉尘集尘系统自动抽走的全制程软件自动控制操作简易，整机性能稳定，可长期24小时不间断运行；
11、单独装配CCD测量系统和软件，能支持CCD自动检测最小加工孔径和孔的位置精度。
12、配备机械手自动上下料系统，可选配分拣系统。
项 目 规 格 参 数
1 激光器类型 1064nm皮秒 固体激光器
2 激光功率 50W或100W 400KHZ (6PS脉宽）
3 激光最小聚焦光斑 15um（一次性不拼接50mm*50mm）
4 激光单次工作范围 50*50mm 25um线宽
5 激光切割工作范围 80*80mm 任意自动拼接
6 激光切割拼接精度 ≤±3um
7 激光切割速度 1500mm/s
8 XY平台移动速度 800mm/S 1G加速度
9 XY平台定位精度 ≤±3um
10 XY平台重复精度 ≤±1um
11 CCD定位精度 500万像素 12mm视场范围≤±3um支持多靶位任意设定功能
12 切割面外边框崩边量 ≤30um
12 整机供电 7KW/AC380V/50Hz(含抽风系统)
13 冷却方式 恒温水冷
14 外观尺寸（长X宽X高）/重量 1800mm*1600mm*1980mm/2.6吨
