液环真空泵在汽蚀状态下长时间工作，会造成泵的噪声、振动变大，甚至对泵造成损坏，因此应尽量避免液环真空泵在汽蚀状态下工作，可通过以下方法：

1、 降低工作液的温度

在液环真空泵工作点为固定值的前提下，降低工作液的温度可以达到防止汽蚀的效果。

2、 使真空泵运行在安全区域，提高选型的准确性

这要求在选型阶段，选择液环真空泵吸入压力及工作液温度时尽量避开液环泵容易发生汽蚀的压力范围。

3、 安装汽蚀保护管路或单向阀

汽蚀过程中产生的气泡在压缩过程中破裂时，从外部引入压力较高的不凝气体能够及时补充因气泡破裂而出现的空间，这样可以大大减轻汽蚀对泵的损害及降低汽蚀引起的噪声和振动。

2BV、2BE1设有汽蚀保护接口。在泵发生汽蚀现象时，从泵排气侧的汽蚀保护接口充入不凝气体即可消除汽蚀噪声，并大大减轻汽蚀对泵的损害。

4、 配大气喷射器

如液环真空泵吸气口配有大气喷射器，则液环泵不易发生汽蚀现象。

5、 采用具有更低的饱和蒸汽压的液体作为工作液。

6、 泵的叶轮、圆盘采用防汽蚀能力较强的材质。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸进到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边沿，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中往，负气体压强忽然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时（图中a），下转子从泵进口封进v0体积的气体。当转到45°位置时（图中b），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时（图中c），下转子封进的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵进口封进v0体积的气体。当转子继续转到135°时（图中d），上转子封进的气体与排气口相通，重复上述过程。180°（图e）位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。
小型真空泵指的就是微型真空泵，因为体积小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。