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这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体,真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。

　　真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹营型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。

密封面内圆柱面上的伤痕很可能是外面的杂物进入密封面或安装不当造成的。密封面上的环形沟槽，多数是固体微粒沉积于密封面而引起的。

石墨环（动环）的裂纹是由于传动件的振动，橡胶圈的涨大以及石墨环本身的内应力造成的，而结焦则是因高温所致，这在炼油厂的高温热油介质中是常见的。

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2007年，蔡永宁等建立了多孔端面机械密封理论分析模型，以获得大端面静压为目标，优化了结构参数，再次证明在部分密封端面上加工微孔可有效增大端面静压。同年，万轶等实验结果表明：与光滑摩擦副相比，多孔端面密封可以将大PV 值提高2.5倍。2010年，白少先、彭旭东等基于气体润滑理论的数值分析表明LST-MS由于轴向气膜刚度较小，具有更小的扰动振幅，密封端面开启后有利于保持密封间隙的稳定，减少密封端面的接触摩擦。

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这不仅仅是由于密封件两侧存在压差的缘故。首先,介质之所以容易通过，与真空作用使微观‘沟槽’表面上的润滑膜被抽吸有关;其次是液体介质分子的活性增加,在真空中转变为气态,还有，在真空作用下不仅会产生接触泄漏，介质通过密封发生扩散泄漏等。橡胶在一定真空度和温度下的升华值(失重)，一般要求小于10%,以保证维持既定的真空度。