烘箱外壳一般采用薄钢板制造，表面烤漆，工作室采用优质的结构钢板制造。外壳与工作时之间填充硅酸铝纤维。加热器安装底部，也可安置顶部或两侧

烘箱按外形来分可分为：卧式烘箱和立式烘箱两种。烘箱外壳一般采用薄钢板制作，表面烤漆，工作室采用优质的结构钢板制作。外壳与工作室之间填充硅酸铝纤维。加热器安装底部，也可安置顶部或两侧。温

温控系统：

1、温度范围：室温50—1200度（可任意设定所需温度）

2、温控制器：采用台湾品牌温度控制器，LED做数字显示设定，PID自动演算修正设定，配PT100铂电阻及SSR固态继电器输出从而保证温度控制更加稳定和更精准。

3、温度器精度：±3%℃

4、温度均匀度：±3℃（加热空炉上中下测试）

5、加热器：采用散热式干烧型发热管（采用进口的电阻丝及高温石英砂制作），发热管装置在炉内两旁

烘箱的工作原理

箱体的温度控制采用了智能电脑温控和PLC自控系统，温度信号的采集用铂电阻，经温度控制器的放大与设定值进行比较得到PID控制信号，同时PLC程控器输出控制信号控制固态继电器SSR导通，固态继电器再控制加热器加热，使箱体处于升温除湿阶段。当温度达到设定值时，温控仪输出PID控制信号PLC，PLC输出控制信号给时间继电器KT，使其开始保温计时，同时，关闭进风机和排风碟阀。

烘箱选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺， 所以对其的洁净度要求比较高， 同时用于膜的固化 等工艺， 保持片内的均匀性、 温控系统也是要求较高。 烘箱的生产厂家国内和国 外都比较多， 用途也是多元化的， 从价格角度考虑， 则把国内生产的烘箱放在首 位， 因为不论是售后服务还是备件购买都会相对容易一些， 价格很低很多。 但光 刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。