随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。
对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。
沈阳诺思真空技术有限公司成立以来,一直致力于真空应用技术的发展与进步,设计全部采用三维立体软件,长期与中科院长春光机所、北方夜视集团、西安应用光学研究所、中船重工717所、西安北方捷瑞光电科技有限公司、中电集团第33所、云南北方驰宏光电有限公司、中物院激光聚变研究中心等科研单位合作,并且在极高真空应用领域已拥有较高的声誉。
罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。
中国真空设备制造行业近年来无论是规模、品种还是技术水平都已取得了长足的进步,但整个行业与国外同行业相比,还仍然存在较大差距。
主要表现在:一是企业规模仍然偏小,全国散布着数百家生产企业,其中有很大部分都是在以往国有企业中分散出来的家族式或朋友之间股份合作式小微企业,整体实力偏弱;二是大部分企业研发投入少,没有设立真正的研发部门,基本处于接单—设计—生产的简单模式,导致在产品创新等方面远远落后于国外同行,产品同质化现象严重,高端产品市场基本被国外同行垄断。