Phenom ProX 电镜能谱一体机同时具备样品表面微观形貌观测和表面元素成分点、线、面分析。原飞利浦首席科学家 Karel.Mast 教授携手 Phenom World 公司，首次将电镜和能谱在生产环节集成在一台设备中，后期通过一个软件平台控制操作，用户只需要熟悉一个软件就能同时操控两项功能，技术支持也变得相对简单快速。

Phenom ProX 电镜能谱一体荣获 2012 年全球新产品奖，是扫描电镜能谱行业的一个里程碑。亮度 10 倍于钨灯丝 CeB6 灯丝不仅使 Phenom ProX 电镜能谱一体机提供全世界最高的台式扫描电镜分辨率，同时也使得表面元素分析更加准确快速。背散射电子图像用不同的灰度呈现出不同的元素，Phenom ProX 配备的 SDD X 射线探头，定性半定量探测 5-95 号元素的点、线、面分布。

Phenom ProX 电镜能谱一体机具有飞纳系列全自动操作、15 秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3 年更换灯丝等特点，无需防震环境，可放置在任意楼层，能谱无外接部件，无需液氮冷却。

产品参数

光学显微镜：放大 20-135 倍

电子显微镜：130,000 倍

探测器：高灵敏度四分割背散射电子探测器

灯丝材料：1,500 小时 CeB6 灯丝

分辨率：优于 14 nm

放置环境：采用专业防震设计，可摆放于普通实验室或办公室、厂房

加速电压：5kV-15kV 连续可调

抽真空时间：小于 15 秒

探测元素范围：B（5）- Am（95）号元素

能谱探测器：硅漂移探测器（SDD）

冷却方式：无液氮 Peltier 效应电制冷

能量分辨率：<137eV（MnKaα）

探测器晶体活性面积：25mm2

Phenom ProX 电镜能谱一体机可选配所有的样品杯选件和所有的拓展功能软件选件。