低温等离子体工业废气净化设备是指在原电晕放电基础上由高频高压电场通过尖端放电产生的低温等离子体，在放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、活性氧和氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气目的的设备。