等离子净化器离子体激发：
本工艺有40支至240支充有特殊气体的无极管组成的等离子体激发区，本工艺借助低气压的无极灯作为等离子体的激发体，在无极管区实现低温等离子体区，由于等离子体在能量跃迁过程中具有极强的能量平衡性，在粒子撞击中失能极少。

等离子净化器极板区：
根据被处理气体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以足够高的电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现等离子体。

根据三类的功能区，集中的目的是实现低温等离子体，由于理论和实际使用条件上的区别，单一的方法获得等离子体，从功率上，外部条件上都存在差距。本工艺集三种技术与一体，原废气的去除率非常理想，高浓度废气去除率可达84%以上。

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