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法格光栅尺
光栅尺是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机床固定部件上，光栅读数头装在机床活动部件上，指示光栅装在光栅读数头中。右图所示的就是光栅尺的结构。光栅检测装置的关键部分是光栅读数头，它由光源、会聚透镜、指示光栅、光电元件及调整机构等组成。光栅读数头结构形式很多，根据读数头结构特点和使用场合分为直接接收式读数头(或称硅光电池读数头、镜像式读数头、分光镜式读数头、金属光栅反射式读数头）。
法格光栅尺
目前国内光栅尺分辨率一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那么这些分辨率是怎么得来的呢？以每毫米50线光栅为例，经过4细分，就能得到很简单的5μm的分辨率，而不用采用电子细分，这也是目前国内机床尺的多数工艺，至于高分辨率的光栅尺，就必须采用电子细分技术，增加插补细分器才能得到。高分辨率光栅尺一般应用于仪器仪表如视频仪、工具显微镜、CNC加工中心等。
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磁致伸缩位移传感器 ? 磁致伸缩位移传感器，通过内部非接触式的测控技术精确地检测活动磁环的绝对位置来测量被检测产品的实际位移值的。是利用磁致伸缩原理、通过两个不同磁场相交产生一个应变脉冲信号来准确地测量位置的。测量元件是一根波导管，波导管内的敏感元件由特殊的磁致伸缩材料制成的。 测量过程是由传感器的电子室内产生电流脉冲，该电流脉冲在波导管内传输，从而在波导管外产生一个圆周磁场，当该磁场和套在波导管上作为位置变化的活动磁环产生的磁场相交时，由于磁致伸缩的作用，波导管内会产生一个应变机械波脉冲信号，这个应变机械波脉冲信号以固定的声音速度传输，并很快被电子室所检测到。 这个应变机械波脉冲信号在波导管内的传输时间和活动磁环与电子室之间的距离成正比，通过测量时间，就可以高度精确地确定这个距离。由于输出信号是一个真正的绝对值,而不是比例的或放大处理的信号,所以不存在信号漂移或变值的情况,更无需定期重标。 磁致伸缩位移传感器是根据磁致伸缩原理制造的高精度、长行程绝对位置测量的位移传感器。它采用内部非接触的测量方式，由于测量用的活动磁环和传感器自身并无直接接触，不至于被摩擦、磨损，因而其使用寿命长、环境适应能力强，可靠性高，安全性好，便于系统自动化工作，即使在恶劣的工业环境下(如容易受油溃、尘埃或其他的污染场合)，也能正常工作。 传感器采用了高科技材料和先进的电子处理技术，因而它能应用在高温、高压和高振荡的环境中。传感器输出信号为绝对位移值，即使电源中断、重接，数据也不会丢失，更无须重新归零。 ? 由于敏感元件是非接触的，就算不断重复检测，也不会对传感器造成任何磨损，可以大大地提高检测的可靠性和使用寿命。行程可达5米或更长，标称精度为0.05% F·S，行程1米以上传感器精度可达0.02% F.S，重复性可达0.002% F·S，因此它得到广泛的应用。 优点：高可靠性、高分辨率、耐油抗污、非接触的测量方式，使用寿命长、环境适应能力强，安全性好；即使在恶劣的工业环境下，也能正常工作，对各种运动部件的位移（位置）、速度进行连续、精确、实时的检测。此外，它还能承受高温、高压和强振动。缺点：容易搜磁场干扰，不能与导磁材料一起使用.
道施工期间变形监测的精度、观测仪器和观测周期 1,变形监测的精度,测量等级及精度取决于变形观测的目的、变形观测体的级别以及预计变形量的“必要精度”。隧道施工期要求拱顶下沉的监测精度为1mm（相对于水准工作基点）收敛监测精度为2mm(一对监测点的相对精度)。为了保证监测精度，整个作业期间不宜更换观测人员和主要观测的仪器，每次观测次序和行进路线也应尽相同。2,测量仪器设备 ,测量仪器设备的选择要在满足精度要求的前提下，力求先进和经济实用，要尽可能的采用快速高效的作业方法。结合工程的具体情况，拱顶下沉监测采用精密水准仪观测和用承拓激光测距传感器进行测距、三角高程观测；隧道收敛监测用收敛监测仪器和激光位移传感器观测相结合。3 变形监测的周期,变形监测周期应以能系统的反应观测变形体的变形过程且又不遗漏其变化时刻为原则，应根据单位时间内变形量的大小及外界因素的影响程度来确定。当发现变形异常时，应及时增加观测次数。根据工地实际情况，结合业主、监理的意见，在稳定地区，首次观测在每次放炮后距离掌子面25米处设点观测；获得基础数据后25-50米处隔天监测一次，距离掌子面50米后的点每周监测一次，连续四周，然后改为每月一次。当位移量较小、变形趋于稳定时，观测间隔适当放宽，当变形值较大或出现异常数据时，应加大观测频率，并及时向业主和监理单位报告。实际执行过程中许多监测点都是每周监测一次。监测资料应及时给予洞挖部门和地质部，洞挖部门应及时按合同报送监理工程师。另外，采用承拓激光测距研发出的24小时连续监测系统也成为更加安全可靠的方案。
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