HPF系列微型光纤光谱仪用于荧光检测和薄膜厚度的检测

荧光测量的光信号一般比较微弱，需排除激发光对测试结果的影响，因此一般采用大狭缝、灵敏的探测器和高效率的滤光片。标准的激发光源采用脉冲氙灯或激光。

薄膜厚度测量系统测量的数据是样品对不同波长反射率曲线，这样就可以在已知薄膜厚度、折射率二者之一的情况下推导出另一者。

HCE系列和HPF系列光纤光谱仪的结构

HPF系列光纤光谱仪的光学平台结构，其包括1、连接器，2、狭缝，3、长通滤光片，4、准直镜，5、光栅（确定波长范围），6、聚焦镜，7、探测器聚光透镜，8、探测器，9、消除高阶衍射滤光片（可选），10、升级为紫外增强探测器（可选）。其中1~8为必备组件，光栅和准直镜有一些型号可供选择，9~10为可选组件，可根据实际需求选择，下面对各个组件的作用进行逐一介绍：

1、 连接器：固定光纤、滤波片、狭缝的相对位置，将光纤的信号光倒入光学平台，一 般采用SMA905连接器。  

2、 狭缝：控制进入光谱仪的光通量，宽度从5μm~200μm，有6种选择，高度固定 为1mm。狭缝越窄光通量越少，光谱分辨率越高。（选择不同孔径的光纤也可起同样的作用） 

 3、 长通滤光片：安装在连接器中，消除短波长信号光造成的倍频光，使测量的光谱分 布更准确。滤光片有6种选择，分别为波长大于305、375、475、515、550、590nm能够通过的滤光片。

 4、 准直镜：将入射光准直成一束平行光入射到光栅上。

 5、 光栅：光栅在光谱仪中起色散作用，将不同颜色的光区分出来。

6、 聚焦镜：将光栅的一级衍射光线聚焦到探测器上。 

 7、 探测器聚光透镜：固定在探测器的窗片上，可提高信号光的采集效率。 

 8、 探测器：HCE系列光谱仪和HPF系列光谱仪分别采用Sony ILX511和滨松10420探测器，它们分别对不同波长的信号光产生响应。  

9、消除高阶衍射滤光片（可选）：截止光栅的二级和三级衍射光。

 10、  探测器升级：HCE系列光谱仪可升级探测器，通常用于 紫外光测量，选择升级后，探测器上的BK7窗片会被石英窗片取代。

HPF系列光谱仪测量薄膜厚度

捷扬光电的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理，可以测量的膜层厚度10nm-50μm，分辨率为1nm。薄膜测量在半导体晶片生长过程中经常被用到，因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控；其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。配套的捷扬光谱分析软件包括丰富的各种常用材料和膜层的n值和k值，可以实现膜层厚度的在线监测，并可以输出到Excel文件进行过程控制。