MEMS硅压力传感器特性参数：

供电范围：5±0.25VDC

输出信号：0.5~4.5VDC 比例输出

电气连接：电线加MOLEX插头

压力接口：7/16-20 UNF

压力范围：500

压力单位：Psi

压力类型：表压

线性精度：­­­­±0.5%FS

介质兼容性：与17-4PH不锈钢或316不锈钢兼容的各种介质

压力循环：>107次满压循环

过载压力：2倍额定压力

破坏压力：5倍额定压力

-20℃~85℃工作温度范围

0℃~55℃温度补偿范围

MEMS硅压力传感器原理介绍：

压电式加速度传感器是一种常用的加速度计。它具有结构简单、体积小、重量轻、使用寿命长等优异的特点。压电式加速度传感器在飞机、汽车、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击测量中已经得到了广泛的应用，特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。压电式传感器也可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量。也可以用于军事工业，例如用它来测量枪炮在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力。它既可以用来测量大的压力，也可以用来测量微小的压力。压电式传感器也广泛应用在生物医学测量中，比如说心室导管式微音器就是由压电传感器制成的，因为测量动态压力是如此普遍，所以压电传感器的应用就非常广泛。

MEMS硅压力传感器特点：

1、测量范围光精度高，测力传感器可测0.01--1000000N的力，精度可达到0.05%FS以上；压力传感器可测0.1-1000000的压力，精度可达到0.1%FS。

    2、性能稳定可靠，使用寿命长，如称重式机械杠杆称，由于杠杆、刀口等部分互相摩擦产生损耗和变形，欲长期保持其精度是相当困难的，采用电阻应变式称重传感器制成的电子泵、汽车衡、轨道衡等，能在恶劣的环境条件下长期稳定工作。

    3、频率响应特性极好。压力传感器一般电阻应变计响应时间为0.01MS，半导体应变计可达到0.001MS如能在弹性原件上采取措施则由他们构成的应变式传感器可测几十千赫甚至上百千赫的动态过程。