青岛30万级净化车间工程标准,青岛30万级净化车间工程报价
随着时代与技术的进步,在电子行业中,亚微米工艺对生产场所空气洁净度要求特别的高。集成电路光刻工艺的尺寸是推动洁净室要求的决定性因素,当然技术越进步,尺寸就越小,如果落在集成电路上的粒子大于小尺寸的1%-2%,集成电路就废了,金属粒子,离子,细菌都是生产废品的元凶。所以说,空气洁净度的好坏直接影响电路生产的成品率。
电子厂房净化的地点:电子工业厂房净化的特点一是大,二是多变。几千平方米,上万平方米的面积并不少见。电子工业的技术更新,工艺变了,平面布局就跟着变,因此平面上不宜有固定的分隔,特是很小的分隔。具体说,有以下独特之处应加注意:
1、平面由工艺决定,电子工业净化厂房的工艺布局应适应电子产品发展的灵活性,满足产品生产工艺改造和扩大生产的需求。
2、应考虑大型生产工艺设备的安装、维修要求,设置必要的运输和不影响洁净生产环境的安装口和检修口。
3、主题结构宜采用大空间及大跨度柱网,不宜采用内墙承重体系。
4、大型电子工业净化厂房常才用上技术夹层,下技术夹层这种“夹心”式多层构造。
5、电子工业净化厂房的装修材料不得采用释放对电子产品有影响的材料。
6、对于高高级别净化室,为了尽可能不影响气流的单向性,平行性,照明灯具采用净化泪珠形灯具。
7、电子工业净化是要根据生产工艺要求设置防静电,以便抑制静电的产生,将已生产的静电迅速,安全的排除。
8、电子工业净化厂房有对防微震的特殊要求,在厂地环境上应避开振动源。
9、电子工业净化厂房除有一般给我水要求外,对超大国模集成电子路的用水也有标准。
10、特种气体的储存和分配应有耐火墙与净化室(区)分开,该墙耐火不低于1H。有毒的硅烷或其混合物气瓶存区至少三面敞开的,气瓶与周围构筑栏之间的距离应大于3M,储存区设施的雨蓬应不低于3M。
11、电子工业洁净室允许设空气吹淋室,这是和一般生物净化室不同的,吹淋室与净化工作服更衣室相邻。单人吹淋室按***大班人数为30人一间设计,当工作人员超过5人时,应设旁门,当人数太多 或为了缩短通过时间,也可设隧道式吹淋室。
12、电子工业洁净室按二级耐火等级设计。
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电子厂房空气净化结构材料参考:
1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌
等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
电子车间净化参考参数:
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。
温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。