步是催化剂对VOC分子的吸附，提高了反应物的浓度，
第二步是催化氧化阶段降低反应的活化能，提高了反应速率。
借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度下，发生无氧燃烧，分解成CO2和H2O放出大量的热，与直接燃烧相比，具有起燃温度低，能耗小的特点，某些情况下达到起燃温度后无需外界供热，反应温度在250-400℃。

 蓄热式催化氧化器（Regenerative Catalytic Oxidizer，简称RCO），是将低温催化氧化与蓄热技术相结合的一种有机废气处理设备。本设备有效的降低热量及耗能，同时大大降低净化后排出气体温度。