MV-20 系列PTFE泥浆阀为腐蚀性化学品和磨蚀泥浆介质提供特殊密封。阀门大限度减小粒子的生成，用于半导体制造和洁净区域应用。
产品概览
MV-20系列是PTFE聚四氟乙烯含氟聚合物手动隔膜阀，用于半导体和洁净区域应用中控制研磨性泥浆介质和腐蚀性流体。阀门的流路设计大限度降低产生的压降，允许较低的上游压力需求，改进流体动力学。阀门有2通和3通型，三种通径尺寸(1/4", 1/2",和1")。接口尺寸范围：1/4" - 1-1/4" ,连接方式有Parflare, Pargrip 或Nippon Pillar S300 。
MV-20系列泥浆阀阀体由初级形态100%超高纯聚四氟乙烯制成，具有更好的耐化学性。这个，再加上改性聚四氟乙烯隔膜，使阀门具有良好的柔韧性和高循环寿命，高压力100 psig。阀门本身也非常紧凑，使操作者能够保护洁净室和次洁净区。
MV-20系列的角形和圆形流路，加上一个开放和横扫碗形状围绕其隔膜，大限度地减少湍流并消除可以引起流体剪切尖角。减少了颗粒截留，提供更高的防腐蚀保护。
总的来说，阀门的设计使其特别适合处理磨蚀和腐蚀性泥浆流体，比如那些存在于受雇于半导体制造的CMP (化学机械平坦化或化学机械抛光)工艺的 。MV-20系列也适用于广泛的其他洁净区处理及分析应用，比如控制酸、化学品和去离子水的流量。
对于空气操作版本的MV-20系列泥浆阀，请参阅PV-20系列.
市场:
• 半导体
• 分析试验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
特点/优势:
• 优异的耐腐蚀性
• 均匀分布的阀座密封力小化隔膜和阀座应变，稳定阀门背压能力
• 膜片厚度大，大限度地减少潜在的渗透，同时大限度提高循环寿命
• 用在开环系统中腐蚀性流体时，自排水设计有助可靠性
• 符合 SEMI-F57-0301关于聚合物元件的标准
• 环境温度范围:0°F 至 +150° F (-17°C 至 +66° C)
• 流体温度范围:0°F 至 +266° F (-17°C 至 +130° C)
• 压力范围：真空到100 psig
应用:
• 半导体工具
• 工具挂钩
• 泥浆和腐蚀性化学品分配系统
• 去离子水
技术规格
湿性材料PTFE, Modifi ed PTFE
不湿润的材料PVDF, Viton, PTFE coated SS spring
压力范围27” HG vacuum (913 mbar) - 80 PSIG (5.5 bar), 27” HG vacuum (913 mbar) - 100 PSIG (7 bar)
高外界温度（C)66° C
高外界温度（F)150° F
低环境温度(C)-17°C
低环境温度(F)0°F
大流体温度（c)130° C
流体温度（F)266° F
小流体温度（C)-17°C
小流体温度（F)0°F
流体容量(Cv)Cv .20, Cv .76, Cv 2.4, Cv 3.9, Cv 6.4, Cv 10.9, Cv 13.5
流量因子kv(l /mn)Kv 2.8, Kv 10.8, Kv 34.2, Kv 55.8, Kv 91.5, Kv 155.4, Kv 192.9
长度（英寸）3.8, 3.96, 5.2, 5.35, 6.22, 6.98, 8.07
长度（毫米）96.52, 100.58, 132.08, 135.89, 157.99, 177.29, 204.98
产品型号
MV-20-04-0604
MV-20-04-0606
MV-20-06-0608
MV-20-06-0612
MV-20-16-0612
MV-20-16-0616
MV-20-16-0620
