CNT高真空CVD系统是专业在沉底材料上生长高质量
技术参数| 参数名称 | 单位 | 型号 |
| GCVD-10-12 | GCVD-15-12 | GCVD-200-12 | GCVD-250-12 | GCVD-300-12 |
| 额定功率 | KW | 3 | 4 | 5 | 7 | 9 |
| 额定电压 | V | 220 | 380 |
| 工作温度 | ℃ | 1100 |
| 冷态真空度 | Pa | 6x10-4pa |
| 加热区长度 | mm | L=450mm |
| 恒温区长度 | mm | L=200mm |
| 石英管尺寸 | 直径 | Φ100 | Φ150 | Φ200 | Φ250 | 300 |
| 长度 | L=1200(可根据实际需要非标订做)，炉体不移动的为1000mm |
| 沉底材料 | | 铜箔、石墨等 |
| 气路系统 | | 3路质量流量计（可拓展多路） |
| 炉膛材料 | V | 进口陶瓷纤维 |
| 加热元件 | | HRE |
| 升温速率 | ℃/min | ≤30℃/min |
| 控温精度 | ℃ | ±1℃ |
| 炉体移动 | | 移动距离约600mm（如有需要、需要提出） |
| 外形尺寸 | 配滑轨 | 1700×600×1450 | 1700×650×1500 | 1700×700×1550 | 1700×750×1600 | |
| 不配滑轨 | 1400×600×1450 | 1400×650×1500 | 1400×700×1550 | 1400×750×1600 | |
| 重 量 | | 200kg | 210kg | 280kg | 300kg | 320kg |
| 气路系统 | | 采用三路质量流量计、精确控制气体的流量、(可扩展至多路) |
| 生长腔体 | | 采用进口高纯石英管、配石英支架、方便气体更好的流入 |
| 真空系统 | | 采用分子泵机组，真空度可达 6x10-4pa |
| 加热炉体 | | 采用进口的陶瓷纤维，提供一个高温环境。炉体配超静音滑轨、可移动炉体 |
| 控制系统 | | 采用10寸触摸屏或工控机自动控制，模块采用西门子plc模块，自动手动可随意切换 |
| RF射频电源 | 选配 | RF射频电源可降低石墨烯的生长温度。射频频率：13.56MHz功率输出范围：5~500W |
| 冷水系统 | 选配 | 采用闭环冷却系统，冷却系统循环压力1.2-1.7(bar)，制冷量 4200K/car/hr，出口温度可调（5-35℃）；冷凝器为翅片结构，水箱容积40L，制冷剂采用环保型。 |
