XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)
Z 线性精度: E1=(1.8+5L/1000)um (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可选5X镜头)
| 英制单位 | 公制单位 |
测量范围(Summit 450) | 18" X18"X6" | 450X450x150mm |
测量范围(Summit 600) | 18" X24"X6" | 450X600x150mm |
测量范围(Summit 800) | 30" X31"X6" | 760X800x150mm |
尺寸(Summit 450/600) | 40" X65X76" | 1016X1650X1930mm |
尺寸(Summit 800) | 56" X74.2X76" | 1422X1884X1930mm |
负载能力 | 50kg |
分辨率 | 0.1um (可选 0.04umX-Y) |
光学 | 双重放大 (物镜X) |
| 低 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 |
| 高 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 |
标准物镜 | 2.5X |
可选物镜 | 0.8X,1.0X,5X,10X |
照明 | LED 背光,LED 同轴面光 |
可选特征 | 多色可编程环形光源 |
| Ronchi 栅格自动聚焦 |
| TTL激光 |
| 光谱探针 |
| 旋转工作台 |
| 兆像素数码相机 |
| 高速测量和连续图像获取 |
特征：
- 测量范围：450 x 450 x 150 mm或 450 x 600 x150 mm
- 50公斤承载力
- 亚微米的光栅尺分辨率
- 平台移动速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒
- 可选的X-Y无阻力线性马达驱动，平台速度400 mm/秒
- 误差映射：在XY平面非线性二维纠错
- 双重放大光学系统，固定镜头，内部放大1-4倍
- 可编程LED平台背光及同轴表面光照明
- 可编程多色（红、蓝、绿、复合白色）环形灯(PRL)选项
- TTL激光选项，具有自动聚焦和扫描功能
- 三角和共焦激光位移选项
- SpectraProbeTM 高分辨率彩色传感器选项
- 先进的图像处理性能，快速、精确、稳健
- 双通道，数字式，1.4兆像素的单色相机; 4:1的比例
- 次像素精度： 1/10 - 1/50 pixel
- 独立的Anthro Cart Operator工作站，90 x 90 x128 cm;40kg
- 可选配一体式可调节高度的工作站活动臂及平台，上可放置平板显示器、键盘鼠标及周边设备
- 强大的测量软件和数据分析工具可供选择
- 平均无故障工作时间 MTBF ≥ 8,000 小时
Summit的应用范围包括：
半导体/电子
PCB板与Stencil
光罩
引线框，引线接合，柔性线路板，连接器
SMT元件贴装
锡膏/环氧数脂胶点
芯片载体和托盒
喷墨打印机墨盒
数据存储
磁盘介质基板
滑块和悬臂组(HGA)
Wafer carriers and row bar pallets
精密注塑和机加工件
模具和刀具
医疗设备
燃料喷射部件
手表组件
