快速热处理退火炉简称 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），在吸收了原有生产制造工艺的基础上自主研发了该款产品，拥有独立的发明专利。该设备不但拥有快速的升温速率500℃/S，而且在烧结工艺运行完结，直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的最快降温。我们的工程师们巧妙地利用了冷壁工艺，在绿色节能环保的基础上真正的实现了试样的快速升降温！

腔体采用内管进气，外管出气的气路结构，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触，保证试样温度的准确性。