产品用途：

本机床适用于陶瓷、兰宝石、铌酸锂、砷化镓等晶体及半导体材料的超薄研磨和抛光。

NRC9B-10P-3M结构优势简介

1、摈弃传统老款设备搭积木式主传动形式，采用循环润滑闭式齿轮箱主传动设计，传动更平稳，精度更高，低噪音，更长使用寿命；

2、主磨盘采用动压轴承设计，稳定性更好，精度也更高，滑动面采用进口贴塑材料，摩擦阻力更小，寿命更长；

3、机床整体采用优质铸铁铸造而成，齿轮箱体等关键件采用优质球墨铸铁材料，加工采用龙门加工中心精心制作，精度和稳定性均有保证；

4、上盘部分采用整体焊接龙门桥式结构，刚性更好，而且上盘可以整体旋转，方面清洗和更换上盘操作。

5、上盘结构采用非旋转方式，可更有效地对压力变化及传递进行控制。

6、闭环钢线吊挂装置机构，采用了钢丝吊挂的方式，可让上定盘对于下定盘进行平行错位滑动，以达到提高对于被加工物的移动追随性的效果。从而可以进行超薄和高精度加工。

NRC9B-10P-3M技术特点简介

• 采用游离研磨方式，能抛光加工至高精度平面度与粗糙度、提高抛光速度，缩短加工时间，亦能将工件的尺寸公差、平行度等保持在特殊要求的精度范围内。
• 独特的平坦度控制系统，加工同时可控制平坦度，确保加工精度。能够加工磁性、非磁性或金属，亦可加工对工件的双面有要求的工件。盘面缓慢启动及缓慢停止装置，解决工件龟裂、破损、崩角等问题。

下定盘在旋转的同时会略浮于油面上，由于油膜层起到隔断从机器内部向上产生的震动，从而使下定盘可在无震动的条件下进行精密研磨加工。

1、主体传动采用集成式齿轮箱传动，传动平稳可靠，方便日常维护和维修。

2、采用国内、国际知名品牌配套外购件，包括减速器、轴承、气路元件和电气元件。

3、电气控制设计过载、缺相、润滑油缺失报警等保护功能。

4、上盘系统自动锁紧加非动作报警功能，确保安全。

5、采用龙门式上盘结构，上盘压力稳定

6、砂桶接液盆等砂液流经零件紧固件等均采用不锈钢材质后特殊处理。

7、气缸及比例阀采用国际知名SMC/CKD品牌低摩擦气缸

8、设备箱体配备大功率轴流风机，可有效散热。

一、主传动系统

1、本机主体传动采用封闭式齿轮箱传动，由三电机分别拖动方式形成承载盘行星运动，下盘、内齿圈、太阳轮分别由一个电机单独变频调速拖动，三电机的速度比例可在人机界面终端(PT)上根据加工工件工艺要求进行调节,可根据工艺调整承载片的公转和自传速度。

2、该机内齿圈单独由液压油缸驱动实现平稳升降，可在全行程内自由停止并自锁便于取放工件和维护。

二、材质

1、抛光上下盘：特殊不锈钢材料或QT450

2、齿圈：特殊不锈钢材料

3、太阳轮：特殊材料，表面渗碳处理，硬度高耐磨，使用寿命长

4、关键传动齿轮：40Cr

5、轴套材料：GCr15等

三、上下盘系统

1、该机上盘采用龙门式结构，上盘支撑刚度高、稳定性好；横梁可120°打开，便于更换上下盘及维护清洁。

2、上盘采用特殊结构设计，完全避免了上盘下落时产生的错盘现象。

3、上盘采用进口单气缸结构，气缸可实现上盘快升快降、缓升缓降，及精密卸荷功能。避免了双气缸易损坏的问题。

4、上盘采用自动机械保险方式，保险气缸直接作用于主气缸活塞杆连接处，可有效预防、降低上盘意外脱落造成的设备和人员损伤。

5、下盘轴承采用静压轴承（进口），承载压力大运行平稳。该机特有的外防护圈升降功能，保证了设备的清洁，方便操作。

四、气路系统

1、该机上盘压力控制采用SMC/CKD精密减压阀+电气比例阀+传感器的联合闭环控制方式,可根据工艺需求,实现多段压力控制,压力控制稳定,精度高。

2、关键元器件选用进口品牌,元器件运行可靠,精度高。

五、控制系统

1、该机采用三菱PLC逻辑控制，变频电机拖动技术，可编程人机界面终端。

2、控制系统程序可根据工艺需要，可设定存贮多套不同的工艺参数（压力、时间、速度、速比、圈数、缓降压力、浮动时间等），减少操作辅助时间,提高加工效率，降低人工成本。

3、PLC、变频器及人机界面等关键电气元件均采用国际知名三菱等品牌，质量可靠、运行稳定。

六、抛液循环系统

1、抛光泵及搅拌泵均采用韩国进口

2、泵、桶及接液盘等凡与抛光液有接触的部件均采用特殊的表面处理工艺加工，使抛光液等不易结晶沉淀。

主要技术参数：