SEMISHARE LCVD系列激光修复系统

1.        CVD工作原理：用金属材料连接在各种不同的制程材质上。修补断线，通孔以减少线缺陷，进而提高良率。

       CUT工作原理：利用激光精密切割，熔接功能，修复短路，断线，以减少线缺陷，进而提高良率。

2.        连线效果

成膜规格：

         材质：Cr,Mo,W,Al

         最小线宽：2 micron