气体质量流量控制器/流量计

1、用途和特点

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller ）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。

质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等（可以使用在高压及真空系统）特点。操作使用方便，可任意位置安装，配合DSN2000流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用，也可直接同计算机实现RS-232 连接，非常方便的实现自动控制。它也可以作为气体质量流量计使用。配合DSN2000流量显示仪对气体的瞬时流量和累积流量进行测量和控制。

2命名方法

本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94 、SJ37以及中华人民共和国国家计量技术规范JJF 1246-2010 所规定的通用技术条件和命名方法。本技术说明书为气体质量流量控制器的使用说明书。

3、主要技术指标:

注意:

质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量的单位规定为:   SCCM (标准毫升/分);

SLM (标准升/分)

标准状态规定为:         温度 ---273.15K ( 0℃ );

气压 —- 101325 Pa (760mm Hg)

F.S (Full Scale):       满量程值

4. 结构工作原理

   气体质量流量控制器由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。

本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。

采用毛细管传热温差热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

分流器在主通道和毛细管间产生层流，用以扩大通过流量控制器的流量。

控制器输出的流量以电压形式输出，满量程为5.00V。

控制器一般可以与计算机或与之相兼容的流量显示仪连接。

直接与计算机连接,则需要用户另行提供电源和A/D,D/A转换卡。

控制操作一般在流量显示仪上进行。在流量显示仪内设置有三位阀门控制开关，当置“关闭”位时，阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到最大，以便气路清洗，或作为流量计使用；当置于“阀控”时，则按设定电压的数值自动控制气体流量。（参考流量显示仪的使用说明书） 

控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比, 满量程(F.S) 流量检测输出电压为+5.00V。质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S （量程比为50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S 。

注意:

当质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时，也可以当质量流量计使用。在做

流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达+10V以上，不过要注意，当流量超过满

量程值（+5.00V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但并不会对流量计本身造成损伤。在气路中气源未开启的情况下，禁止使用清洗功能。用于“清洗”状态的时间不宜过长，否则将对流量控制器的性能产生影响.