高纯石墨一般指含碳量在99. 99%以上的石 墨,在组织结构上可分为粗颗粒结构、细颗粒结构 和超细颗粒结构三类,高纯石墨大量用于直拉单晶 硅炉中。集成电路的基础材料主要是硅单晶芯片, 当前硅单晶的成长工艺主要采用直拉(CZ)法,其他 方法还有磁场直拉法(MCZ)、区域(FZ)法以及双坩埚拉晶法,全球电子工业用直拉单晶硅约占单晶硅 总用量的80% ,直拉单晶硅炉中的石墨件是消耗品,采用高纯石墨材料加工成直拉单晶硅炉的加热系统。2005年中国需要直拉硅单晶炉用 石墨约800 t。
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