SDE303X机械增压泵干式真空泵日本KASHIYAMA
KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于真空技术的研究,不断开发进取,在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域,获得了客户的高度评价与信赖。
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并,除此之外,鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
SDE303X机械增压泵干式真空泵日本KASHIYAMA
SDE-X系列
功耗1.3千瓦* 1
[与之前的产品相比减少了54%]
具有多种设置兼容各种工艺
SDE90X SDE303X SDE603X SDE1203X SDE20M09X SDE30M09X
SDE303X机械增压泵干式真空泵日本KASHIYAMA
仕様 / 型式 | SDE90X | SDE303X | SDE603X | SDE1203X | SDE20M09X | SDE30M09X |
最大排気速度 [L/min] *2 | 1,300 | 5,000 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 45,000 |
到達圧力 [Pa] *2 | 1.3 | 0.5 |
電源電圧 (50/60Hz) | 3相 AC200~220V, 380~480V |
消費電力 [kW] *1 | 1.3 | 1.5 | 1.6 | 2.0 | 2.6 | 2.8 |
外観寸法 [mm] W*H*L *3 | W:370 H:557 L:690 | W:400 H:905 L:760 | W:400 H:905 L:760 | W:400 H:905 L:900 | W:460 H:960 L:900 | W:500 H:960 L:1020 |


