KASHIYAMA日本干式真空泵SDL40E201机械增压泵
KASHIYAMA工业株式会社,多年来致力于真空技术的研究,不断开发进取,在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域,获得了客户的高度评价与信赖。
KASHIYAMA工业的干式真空泵系列已经成为半导体制造业与液晶显示制造行业的标准设备。并,除此之外,鲁式及排气组合式真空泵设备则在其他领域得到广泛应用。
KASHIYAMA日本干式真空泵SDL40E201机械增压泵
支持放大晶圆和FPD
通过组合可以实现大排量。 我们将回应超过150,000升/分钟的要求。
更短的节拍时间
通过确保大气侧排气速度,高速抽空大型负载锁定室
SDL12E50 SDL20E50 SDL36M60 SDL40E60 SDL40E201 SDL40EW201 SDL80201
KASHIYAMA日本干式真空泵SDL40E201机械增压泵
仕様 / 型式 | SDL12E50 | SDL20E50 | SDL36M60 | SDL40E60 | SDL40E201 | SDL40EW201 | SDL80201 |
最大排気速度 [L/min] *1 | 25,000 | 50,000 | 60,000 | 70,000 | 80,000 | 150,000 | 170,000 |
到達圧力 [Pa] *1 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 5.0 |
電源電圧 (50/60Hz) | 3相 AC200~220V, 380~480V | 3相 AC380~440V |


