OAI在MEMS和微流体装置方面的产品主要包括 : 

光刻机        

光源

以工作稳定，出光效率高，高均匀性和散射角小而著称。且可提供 20” 以上的大面积光源。

光功率计及分析仪

OAI光功率计以其测量精度，重复性著称。测量数据符合美国NIST标准。广泛应用于半导体光刻能量测量及控制。