光氧等离子净化技术原理是采用光源对废弃分子链进行净化的专业技术，运用253.7纳米光波段切割、锻炼、燃烧、裂解废气分子链，改变分子结构，取为第一重处理；通过185纳米波段进行电离空气产生臭氧，臭氧是氧化剂使破坏后的分子或中子以O3进行结合，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物使之变为CO2、H2O等，同时催化剂起到加快反应进程，催废气进行净化效果，取为第三重处理，通过三重处理后的废气其除臭最高可达93%以上。

低温等离子放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同事空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含极高化学性的粒子，如电子，离子，自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。