【是德科技使用KeysightB1500A MFCMU和SCUU进行IV和CV测量】价格_厂家

是德科技使用KeysightB1500A MFCMU和SCUU进行IV和CV测量

不限

￥99888

中国深圳

产品属性

图文详情

品牌推荐

品牌

Keysight是德

型号

B1500A

类型

半导体图示仪

测试电压范围

3000V

测试电流范围

1500A

扫频范围

350MHz

功率

400W

电源电压

2220

工作电流

350

集电极电压

基极电压

222

适用范围

5650

加工定制

否

外形尺寸

1000mm

重量

28kg

尺寸

14寸

是德科技使用KeysightB1500AMFCMU和SCUU进行IV和CV测量
=======================================
深圳佳捷伦电子仪器有限公司
负责人：雷S/欧阳R
手机：138-2659-6538/135-1050-0080
QQ:2355633972/3232796944
邮箱：2355633972@qq.com
网站：www.cgilent.com
全国免费热线800-900-9128
全国免长途通话费400-996-9128
地址：深圳市龙岗区平湖街道平新北路163号广弘星座B栋12楼
========================================
详细资料可加WeChat:Cgilent2018（雷依婷）
Keysight B1500A 半导体器件分析仪
参数表征既需要进行电流－电压 (IV) 测量，也需要进行电容－电压 (CV) 测量。目前开发的制程
技术通常需要通过单通道对晶圆上器件进行精确的 IV 和 CV 测量。Keysight B1500A 半导体器件
分析仪在单台主机中使用一个新的单插槽多频率电容测量单元 (MFCMU) 和两个 SMU 单元，能
够支持单通道的 IV 和 CV 测量。
在一个探头台上完成 IV 和 CV 这两种测量并不容易。基于 SMU 的 IV 测量采用三轴连接头，而
基于 CMU 的 CV 测量则使用 BNC 连接头。这两种测量间的切换是繁杂和费时的，并且很容易造
成错误测量。例如，当通过手动切换测量电缆时，需要同时保持在晶圆上的探针不变。在这种情
况下，当切换电缆时，摩擦产生的电荷就有可能损坏器件。除电缆连接问题外，为得到精确的测
量结果，还必须正确设置与电容测量相关的误差补偿参数。
B1500A 的 SMU CMU 复合单元 (SCUU) 解决了这些测量问题。SCUU Keysight B1500A 半导体器
件分析仪能够执行精确的 IV 和 CV 测量并能在两者之间轻松切换，从而节省了购置复杂的外部
开关矩阵仪器的开支。
这篇应用指南介绍如何用 B1500A 容易地配置精确的 IV 和 CV 测量系统。
Keysight B1500A IV/CV 解决方案
图 6 显示 B1500A 用于 IV 和 CV 测量间
切换的基本电缆配置。B1500A 的 SCUU
可以在不降低测量精度的前提下切换 IV
和 CV 测量，您可通过 1.5 米或 3.0 米电
缆把 SCUU 安装到晶圆探头上。SCUU
上的测量电缆用两条三轴电缆或两对
Kelvin( 施加和传感 ) 三轴电缆延长到晶圆
探头机械手，以满足 IV 和 CV 测量的要
求。对于 IV 和 CV 测量，三轴电缆的中
心信号线接到测量探针的中心导体，三轴
电缆的驱动保护端则接到测量探针的外
部屏蔽端。通过把外部屏蔽端接到测量探
针保护端来防止外部噪声。
正如图 5 所示，探头机械手 CH 和 CL 测
量端的保护端在每条同轴测量电缆的末
端短路到一起，以便建立精确的 CV 测量
系统。B1500A 的保护开关单元 (GSWU)
用于在进行 CV 测量时短路测量电缆的保
护端。GSWU 开关在 IV 测量时自动开路，
以防止对 SMU 的可能损害，否则两个
SMU 的保护端 ( 可能处于不同电位 ) 将发
生短路。
即使您使用 Kelvin 三轴电缆连接 SCUU
和探头机械手，只要电缆不是太长，它
也不致于影响测量精度。您需要做的就
是建立这一简单的连接系统，用内置于
B1500A EasyEXPERT 软件的开路 / 短路
和 ( 可选 ) 负载补偿程序收集和保存剩余
误差部分的数据。
EasyEXPERT 软件通过控制 GSWU 处
理所有 IV-CV 切换和误差补偿，同时
还处理电容测量的电流返回路径问题。
EasyEXPERT 软件提供 100 种以上的 IV
和 CV 应用测试。您只需选择一种 CV 算
法，按一个按钮即开始进行精确的 CV 测
量。如果您使用 SCUU，就可把 CV 测量
的直流偏置电压扩展到 ±100 V，这已经
远远超出 MFCMU 的固有 ±25 V 能力。
在配置 SCUU 的情况下，通过把 SMU 接
到 SCUU，即可自动提供 ±100 V 的直流
偏置。

我们的优势：
品种齐全，货源充足，存库雄厚，服务快捷，维修能力强。
欢迎上门看货!价格好商量!您的满意是我们的追求！^_^
我公司对销售的仪器仪表均负责保修一年.
本公司长期供应/租赁/维修二手进口仪器

仪器仪表 > 电子测量仪器 > 图示仪 >