低温等离子设备在外加电厂的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，石器使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而是污染物 得以 降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10EV，低温等离子设备适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域的一项具有极强优势的高效技术，等离子体受到了国内外化工废气治理方面的高度评价。