HWGK0133X-18紫外线光刻箱,配备电子电源,无级调光,主要用于光刻胶测试,中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路、电力电子器件的研制和小批量生产测试。无紫外线泄露,可以最好的保护人体不受紫外线伤害的UV光刻箱,自动旋转托盘,全方位多角度平行光照射,无照射盲区。
设备组成
UV光源+光刻箱+自动转盘+电源控制器
采用模块型设计
采用模块型设计,可手持、固定、箱式使用。
UV灯头
包含一个长寿命的高压汞灯,发射出UVA(300-400nm),主光强度分布均匀。灯泡寿命为1000小时。
UV光刻箱
设备包含光刻箱,带有箱门,开关方便,在元件的光刻过程中,能够保护用户免受紫外辐射。
内置遮光型手动快门(工作时无紫外线泄露)
设备集成可伸缩遮光型手动快门,确保光刻的优良重复性,保护用户开关光刻箱门时免受紫外辐射。
可调速自动旋转托盘
设备集成可调速自动旋转托盘,光刻效果更好,更彻底。
无级变光(光强可调)
灯管发光强度可以40%~100%,无级调节灯光强度,特别适合科研和工业生产。
反光内壁
光刻箱内有反光的内壁结构以及优化设计的反光镜,可保证达到均匀照射效果。
强制风冷系统
光源、电源、光刻箱都集成冷却风扇,使得系统在散热良好的环境工作,增加了系统可靠性。
类别 | 项 目 | 参 数 |
尺寸 | 外型尺寸(L×W×H) | 615×415×615mm |
光刻箱内(L×W×H) | 330×345×330mm |
灯管 | 灯管名称 | 高压汞灯 |
功率 | 450~1700W 无级调光 |
极限功率密度 | <250mw/cm2 |
波峰值 | 365nm |
曝光面积: | ≥φ150mm |
旋转托盘 | 功率 | 10W |
最低速度 | 1圈/分钟 |
最高速度 | 6圈/分钟 |
箱内托盘 | 360度旋转,速度可调 |
电源 | 电源需求 | 220V |
整机功率 | 1800W |
重量 | 光刻箱体 | 29KG |
电源箱 | 4KG |
灯箱 | 5KG |
总重量 | 38KG |