流量范围从0-5sccm到0-1000slpm(氮气)

• 设定点的响应时间不超过1sec

• 控制精度可达实际流量的1%

• I/O(输入&输出)可选模拟和数字信号

• 可实现本地/远程设置/显示

​供应美国Parker派克气体质量流量控制器                                                        ​供应美国Parker派克气体质量流量控制器​