ZFC200-06SMC真空过滤器手*机：189.乄2603.乄5517，DL-RS1AL，KEYENCE流量传感器安装说明可在显示范围和额定流量范围内使用响应时间为1s时重复精度为F.S.的±5%。若选定0.05L/min，瞬时流量显示可以按0.05增量在0.15到0.5L/minFD-M5CAT（P）/Y（P）在响应时间为0.5s时重复精度为F.S.的±7.5%，
【详细说明】DL-RS1AL，KEYENCE流量传感器安装说明额定流量范围表示通常情况下使用的流量范围之间设定，并对超过0.5L/min的值按0.01增量设定。
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其表现是热电偶温度在此温度范围内周期变化时，校准也会出现几度的变化。在200?C和1000?C（最常发生在750°C）之间加热或冷却时，N型热电偶的滞后可高达5°C。在900°C时滞后为2°C到3°C。举例来说，如果在500°C以下使用K型热电偶，可以通过在450°C时进行整夜退火处理来减少滞后。氧化氧化是会影响校准的另一种现象。由于氧化现象，Ni-Cr-AI合金（例如镍铬合金*）在500°C以上空气环境中的寿命有限。