CCSS设备：

1、Chemical CCSS供给系统；
2、Slurry CCSS供给系统；
3、散装化学品供应系统，可选动力泵或者N2压力供应；
4、化学品混合稀释系统；
5、各种溶剂集中供应系统。

特气工程：

1、产品涵盖EP级、BA级高纯净管道需求；
2、管、阀、压力控制等使用国际一流品牌，品质保障；
3、气体供应精准、稳定、安全；
4、可跟据客户要求进行功能定制：自动N2吹扫、泄漏侦测装置、喷淋稀释装置、供应压力检测等装置。