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CSE钟罩腐蚀设备适用于1″~8″石英管酸泡本钟罩腐蚀设备为柜体式,整体采用德国NPP
1.操作方式:手动操作
2.酸泡满足工艺:上料槽1→清洗液1浸泡→清洗石英管内外表面→上料槽2→清洗液2浸泡→清洗石英管内外表面→下料
3.基本材质:槽体材质:德国进口聚丙烯(NPP)
骨架材质:不锈耐酸钢(1cr18NI9TI)
管道材质:上水管件PVDF:德国进口聚偏二氟乙烯
下水材质:德国PP柜体窗板:德国进口透明聚氯乙烯(PVC)
柜体材质:德国进口聚丙烯(PP)
4.结构特点:
⑴柜体式,前面带有透明门窗。
⑵槽下设有接漏盘,漏盘装有漏液报警装置。
⑶槽盖密封采用U型结构,以保证其密封效果良好。
⑷酸槽1、2槽中间设有DI水清洗槽,有冷热DI水上给水,便于配酸和冲洗槽体,石英管,给水龙头可旋转。
⑸槽1酸液排放为虹吸上排式,槽2酸液排放为自排式。
⑹机台配有排风装置。
⑺配有美国进口水枪、氮气喷枪各一支。
⑻内设照明装置。品牌:华林科纳—CSE 制造厂商:苏州华林科纳半导体设备技术有限公司