供应日本日立HITACHI半导体蚀刻系统9000系列  的详细介绍

1. 新的9000系列的串接式平台，其模组腔室设计，可以提供制程使用的弹性以及未来的扩充性。
2. 有助于顺利过渡到未来450mm晶圆用设备的平台和用户界面标准化整合。
3. 9000系列平台采用了日立成熟的微波ECR（Electron Cyclotron Resonance）等离子体蚀刻腔室，已经过大批量生产的考验。

※部分规格会与照片不一样

。