供应日本日立HITACHI高速缺陷观测设备CR6300(Defect Review SEM)  的详细介绍

特长

• 高画质，高对此，高解析度SEM图像
• 高速缺陷摄像（）
• 人性化的GUI

• 自动缺陷分类（）
• Bare wafer自动观测
• 检查制程说明书（iPQ）

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