产品介绍: Regulus8200系列（Regulus8220、Regulus8230、Regulus8240）是集高分辨观察和大束流分析与一体的高端扫描电镜。Regulus8200冷场扫描电镜不仅完全秉承以往冷场发射扫描电镜的全部优点，还大幅提高了探针电流，并极大增强了电流的稳定性。Regulus8200可实现自动flash，无需等待，这些优点使得在低加速电压下，可长时间连续实现高分辨观察和分析功能。
沿用"SU8200系列"的冷场发射电子枪*2采用电子束在Flashing后出现的高亮度稳定区域作为稳定观察的区间，使得低加速电压条件下兼备高分辨观察和分析的最佳性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)采用污染小、高真空样品仓运用能量过滤器(选配)，可观察到多种成分对比度*2极低着陆电压下高分辨观察
样品：金颗粒
着陆电压：10 V
超高分辨观察
样品：Pt催化剂
加速电压：30 kV
低加速电压下高分辨EDX分析
样品：Sn球
着陆电压：1.5 kV
*2仅限Regulus8240/8230/8220项目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次电子分辨率0.7 nm
（加速电压15 kV）
0.8 nm
（着陆电压1 kV）*3 | 0.6 nm（加速电压 15 kV）
0.7 nm（着陆电压 1 kV）*3 |
着陆电压| 0.1～2 kV | 0.01～20 kV |
放大倍率| 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 |
样品台样品台控制| 3轴马达台（可选5轴马达台） | 5轴马达驱动 |
移动范围X| 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm |
Y| 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm |
R| 360° |
T| -5～70° |
Z| 1.5～30 mm | 1.5～40 mm |
再现性| - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm |
*3减速模式下观察*4以127 mm × 95 mm底片为基准的倍率
