操作高效便捷

创新的“EM Wizard”界面更加直观，仅需要“点击”即可得到的图像。
超前的电脑辅助技术将电镜的操作与控制提升到一个新水平。

高性能电子光学系统

• 二次电子分辨率: 顶位二次电子探测器(2.0 nm at 1kV)＊
• 高灵敏度: 高效PD-BSD, 超强的低加速电压性能，低至100 V成像
• 大束流(>200 nA): 便于高效微区分析

性能优异

• 压力可变: 具有优异的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配备高灵敏度低真空探测器(UVD)＊
• 开仓室快速简单换样(最大样品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
• 微区分析: EDS, WDS, EBSD等等

*：选配附件项目内容分辨率放大倍率电子光学系统电子枪加速电压着陆电压最大束流探测器低真空模式*2马达台马达台控制可动范围最大样品尺寸选配探测器

1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 减速模式*1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2

10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)

ZrO /W 肖特基式电子枪

0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)

减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1

> 200 nA

低位二次电子探测器

真空范围: 10 - 300 Pa

5 - 轴自动 (优中心)

X：0～100mm Y：0～50mm Z：3～65mm T：-20～90° R：360°

最大直径: 200 mm 最大高度: 80 mm

高分辨率顶位二次电子探测器＊1 高灵敏度低真空探测器 (UVD) 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3 能谱仪 (EDS) 波谱仪 (WDS) 背散射电子衍射探测器 (EBSD)

*1：减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）*2：低真空功能（包含5分割半导体探测器）*3：空压机(本地采购)

样品: 氧化锌粉末
着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x
低电压下顶位二次电子探测器成像

样品: PTFE
加速电压: 3 kV ; 倍率: 13,000x
UVD探测器可在低加速电压(3 kV)和低真空
(40 Pa) 下获得高质量图像