原子分辨率300 kV透射电子显微镜
在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。
为了满足这种高端需求,日立高新技术公司研发出了 H-9500透射电子显微镜,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能,而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能,并采用了最新的数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。
用户友好型的操作系统
- 和Windows®兼容的图形用户界面设计
- 快速的样品分析,1分钟换样,5分钟内升高压至(300 kV)
- 高稳定性,高分辨率透射电子显微镜
高稳定性,高分辨率透射电子显微镜
- 点分辨率为0.18 nm,晶格分辨率为0.1 nm
- 稳定可靠的5轴优中心测角台
- 性能优异,可靠性高
性能优异,可靠性高
- 得到市场验证的10级加速器电子枪设计
- 阻抗式高压电缆设计
- 高档可选附件
高档可选附件
- 通用样品杆,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用
- 可为原子分辨率的动态研究提供加热,冷却和气体注入等多种样品杆
备注:FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。
项目说明
分辨率0.10nm(晶格分辨率) 0.18nm(点分辨率) |
加速电压300kV、200kV*1、100kV*1 |
放大倍率连续放大模式1,000~1,500,000× |
选区模式4,000~500,000× |
低倍模式200~500× |
电子枪灯丝LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热) |
灯丝交换自动升降式电子枪 |
高压电缆阻抗电缆 |
照射系统透镜四级透镜 |
聚光镜光阑4孔可变 |
探针尺寸微米束模式:0.05 - 0.2 µm(4级) 纳米束模式:1 - 10 nm(4级) |
电子束倾斜±3° |
成像系统透镜五级透镜 |
聚焦图像摇摆调整 利用像散监视器进行正焦补偿 聚焦优化 |
物镜光阑4孔可变光阑 |
选区光阑4孔可变光阑 |
电子衍射 选区电子衍射 纳米探针电子衍射 会聚束电子衍射 |
相机长度250 - 3,000 mm |
样品室样品台5轴优中心海帕测角台 |
样品尺寸3mmΦ |
样品位置追踪X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm 通过CPU控制马达驱动 |
样品位置显示自动驱动,自动跟踪 |
样品倾斜α = ±15°, β = ±15° (日立双倾样品台*2) |
防污染冷阱 |
烘烤功能中温烘烤功能 |
观察室荧光屏主屏:110 mmΦ 聚焦屏:30 mmΦ |
目镜7.5× |
照相室区域选择整张照相/半张曝光 |
胶片25张(2套胶片盒) |
图形用户界面 操作系统:Windows XP® |
显示器19英寸显示器 |
功能数据库,测量,图像处理 |
数码CCD 相机*3相机耦合透镜耦合 |
有效像素1,024 × 1,024 像素 |
A/D 分辨率12位 |
真空系统电子枪离子泵:60 L/s |
镜筒涡轮分子泵:260 L/s |
观察室/照相室扩散泵:280 L/s 前级泵:135 L/min × 3台 |
*1:放大倍率校准为可选项*2:可选件*3:本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机
以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺