产品卖点：

1、满足SEMI S2、SEMI S8和CE标准；

2、全自动倒片，兼容SMIF和FOUP；
3、支持EAP、FDC等功能；
4、多级wafer保护措施；
5、支持marangoni干燥；
6、洁净度等级符合ISO Class 1标准；
7、支持多任务并行处理；

8、自动补、配液，可兼容多种浓度配比。