中文名称：电子级六，六，电子级氟碳，全，氟里昂116
CAS编号：76-16-4 简称：R116、FC-116
分类：纯净物 英文全称：hexafluoroethane
化学分子式：CF3CF3、 C2F6 分子量：138.01182
摩尔质量：138.01182g/mol 三相点温度：-100.05℃
标准沸点：-78.09℃ 临界温度：19.88℃
临界压力：3.048MPa（绝压） 临界密度：613.32452808kg/m3
偏心因子：0.2566kJ（kg*℃） 偶极矩：0D（德拜）
熔点：-100.6℃ 密度：（水=1）1.61（空气=1）4.7g/cm3
极化率：4.84 危险系数：2.2
性状：1.无色，不可燃气体，不溶于水，溶于乙醇。常温下(19.7℃)是压缩气体。
2.化学性质不活泼，在600℃以下与石英不反应，在842℃下还不全部分解。在处理六过程中，可按无毒气体处理，但与可燃气体一同燃烧时，分解产生有毒的氟化物。
质量标准（QUALITY STANDARD FORR116）
指标名称 | 高纯级 | 优级品 |
含量，%（v/v） ≥ | 99.99 | 99.8 |
氮气，%（v/v） ≤ | 0.002 | 0.03 |
氧气，%（v/v） ≤ | 0.0005 | 0.02 |
水份，ppm ≤ | 5 | 5 |
二氧化碳，ppm ≤ | 5 | 10 |
氟化碳，ppm ≤ | 15 | 20 |
酸度，（HF）ppm ≤ | 0.1 | 1 |
六氟化硫，ppm ≤ | - | - |
用途
六可用于一种具多功能的蚀刻技术，常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外，它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅
备注：500L钢瓶押金12000/只
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