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金刚石线切割机的切割原理与弓锯相仿。高速旋转并往复回转的绕丝筒带动金刚石线做往复运动,金刚石线被二个张紧线轮(弹簧或气动)所张紧,同时加设两个导向轮以确保切割的精度和面型。 通过自动控制工作台向金刚石线控制台方向不断地进给,或是控制金刚石线控制台向工作台方向不断进给,从而使金刚石线与被切割物件间产生磨削而形成切割。切割过程中,由于金刚石线直径小,且具有弹性,金刚石切割线在被被切割物件和位于其左右的两个导向轮之间形成了一个张角,金刚石线呈微弧状。因此施加到被切割物件上的力联同金刚石线与被切割物件间的相对运动,才使切割不断得以进行。
金刚线切割多晶硅技术是当前兴起的硅片切割新技术,相比传统砂浆多线切割技术,具有切割成本低、产能效率高和环境污染小等优势,可以有效降低硅片成本。
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